半导体制程机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02143416.6

申请日：

2002-09-25

公开(公告)号：

CN1485883A

公开(公告)日：

2004-03-31

发明(设计)人：

张远光吴锦龙林沧荣陈立仁陈钦聪

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学园区

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

刘领弟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-03-31	公开	公开
2004-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-07-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[2]

半导体制程机台 [P].

汤广年 ;

范扬楷 ;

苏裕盛 ;

江明晁 ;

石育政 .

中国专利 :CN101315870A ,2008-12-03

[3]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326B ,2024-12-27

[4]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326A ,2021-07-13

[5]

半导体制程 [P].

王文杰 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102810505A ,2012-12-05

[6]

半导体制程 [P].

李秋德 .

中国专利 :CN101667540A ,2010-03-10

[7]

半导体制程 [P].

苏煜中 ;

罗冠昕 ;

郑雅如 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN110824845A ,2020-02-21

[8]

薄膜沉积机台及半导体制程方法 [P].

李继刚 ;

周纬 ;

朱顺利 ;

张俊 .

中国专利 :CN117524922A ,2024-02-06

[9]

半导体制程机台及其应用的方法 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 .

中国专利 :CN112342528B ,2021-02-09

[10]

基板传送设备及半导体制程机台 [P].

李曜如 ;

张宏文 ;

范振峯 .

中国专利 :CN209993581U ,2020-01-24

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