基板传送设备及半导体制程机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920981884.1

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN209993581U

公开(公告)日：

2020-01-24

发明(设计)人：

李曜如张宏文范振峯

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市香山区中华路六段89号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

基板传送设备、半导体制程机台及基板传送方法 [P].

李曜如 ;

张宏文 ;

范振峯 .

中国专利 :CN112151429A ,2020-12-29

[2]

半导体制程机台及其半导体制程 [P].

林武郎 ;

郑煌玉 ;

王陈右 ;

陈世敏 ;

范釗傑 ;

高诚志 ;

刘又瑋 .

中国专利 :CN104253065A ,2014-12-31

[3]

半导体制程机台 [P].

汤广年 ;

范扬楷 ;

苏裕盛 ;

江明晁 ;

石育政 .

中国专利 :CN101315870A ,2008-12-03

[4]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326B ,2024-12-27

[5]

半导体制程机台 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

谢主翰 ;

李佳蓉 ;

郑智龙 ;

黄柏智 .

中国专利 :CN113113326A ,2021-07-13

[6]

半导体制程机台 [P].

张远光 ;

吴锦龙 ;

林沧荣 ;

陈立仁 ;

陈钦聪 .

中国专利 :CN1485883A ,2004-03-31

[7]

半导体制程及设备 [P].

林俊安 .

中国专利 :CN118645439A ,2024-09-13

[8]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131B ,2024-11-12

[9]

半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法 [P].

尚思飞 .

中国专利 :CN118610131A ,2024-09-06

[10]

薄膜沉积机台及半导体制程方法 [P].

李继刚 ;

周纬 ;

朱顺利 ;

张俊 .

中国专利 :CN117524922A ,2024-02-06

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