多晶硅薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410491543.8

申请日：

2014-09-24

公开(公告)号：

CN104217940A

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

江润峰孙天拓

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/285 申请公布日:20141217
2014-12-17	公开	公开
2015-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101594989144 IPC(主分类):H01L 21/285 专利申请号:2014104915438 申请日:20140924

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜的制备方法 [P].

彭思君 ;

吴建宏 ;

刘冲 ;

严晓龙 .

中国专利 :CN104167349A ,2014-11-26

[2]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[3]

多晶硅薄膜组件的制备方法 [P].

范多旺 ;

王成龙 ;

范多进 ;

令晓明 ;

孔令刚 .

中国专利 :CN101404304B ,2009-04-08

[4]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

张进 .

中国专利 :CN108987247A ,2018-12-11

[5]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

范建国 ;

季峰强 ;

董智刚 ;

黄柏喻 .

中国专利 :CN101290877A ,2008-10-22

[6]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

何永根 ;

陈旺 .

中国专利 :CN101307488B ,2008-11-19

[7]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956499A ,2013-03-06

[8]

低温多晶硅薄膜的制备方法、制备设备及低温多晶硅薄膜 [P].

张隆贤 ;

余威 .

中国专利 :CN104404617A ,2015-03-11

[9]

多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅TFT结构 [P].

张良芬 ;

连水池 ;

罗长诚 ;

吴元均 ;

徐源竣 ;

郭海成 ;

王文 ;

陈荣盛 ;

周玮 ;

张猛 .

中国专利 :CN104992899A ,2015-10-21

[10]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

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