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真空镀膜机冷却装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820146520.7
申请日：
2018-01-29
公开(公告)号：
CN207793406U
公开(公告)日：
2018-08-31
发明(设计)人：
黄启泰
倪颖
任建锋
王毅
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴江市长安路2358号科技创业园14号楼
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
C23C1644
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
黄胡生
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-31 | 授权 | 授权 |
| 2023-01-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20180129 授权公告日:20180831 终止日期:20220129 |