反应腔真空度控制微调装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621329078.9

申请日：

2016-12-06

公开(公告)号：

CN206234114U

公开(公告)日：

2017-06-09

发明(设计)人：

王琦

申请人：

申请人地址：

311203 浙江省杭州市大江东产业集聚区外六工段

IPC主分类号：

F04C2800

IPC分类号：

F04C1900

代理机构：

杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266

代理人：

沈相权

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04C 28/00 申请日:20161206 授权公告日:20170609 终止日期:20211206
2017-06-09	授权	授权

共 50 条

[1]

简易式反应釜真空度控制装置 [P].

梁植辉 .

中国专利 :CN208554172U ,2019-03-01

[2]

一种真空度控制装置 [P].

邓力明 .

中国专利 :CN222506796U ,2025-02-18

[3]

真空度调节装置 [P].

蓝若灵 ;

王宽 ;

杨丽秀 ;

朱家霞 ;

刘露 .

中国专利 :CN221096760U ,2024-06-07

[4]

一种CVD反应腔室真空度测量装置 [P].

屈丰超 ;

邓曾红 ;

赵青松 ;

张金斌 ;

南建辉 .

中国专利 :CN209416579U ,2019-09-20

[5]

用于控制真空度的方法 [P].

金焕植 ;

金焕燮 ;

申炯均 .

韩国专利 :CN113276816B ,2024-09-27

[6]

一种真空度的自动控制装置 [P].

赵岚 ;

侯江宁 ;

赵锦 .

中国专利 :CN220651106U ,2024-03-22

[7]

真空度控制阀 [P].

徐荣辉 ;

高鑫 ;

刘强 ;

宋铠钰 ;

陈林 .

中国专利 :CN223725620U ,2025-12-26

[8]

真空度检测装置 [P].

黄仕虎 ;

黎宗稷 ;

唐亮 ;

张敏超 ;

李晓林 ;

张涛 ;

徐勇 ;

雷志添 ;

唐培文 ;

蒋小权 .

中国专利 :CN207280673U ,2018-04-27

[9]

真空度调节系统 [P].

浦泓 ;

王毅 .

中国专利 :CN217873160U ,2022-11-22

[10]

真空度测量装置 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN204202809U ,2015-03-11

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