一种CVD反应腔室真空度测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822169422.8

申请日：

2018-12-21

公开(公告)号：

CN209416579U

公开(公告)日：

2019-09-20

发明(设计)人：

屈丰超邓曾红赵青松张金斌南建辉

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

IPC主分类号：

G01L2100

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹;吴欢燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-20	授权	授权
2021-02-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01L 21/00 登记生效日:20210201 变更事项:专利权人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611

共 50 条

[1]

一种CVD碳化硅反应腔室真空度测量装置 [P].

白秋云 .

中国专利 :CN211717702U ,2020-10-20

[2]

真空度测量装置 [P].

夏祖钶 ;

吴万锦 ;

李文锋 ;

汤伟雄 .

中国专利 :CN221457599U ,2024-08-02

[3]

一种真空采血管真空度测量仪 [P].

欧阳建华 ;

卢勇 ;

刘锋 .

中国专利 :CN205679355U ,2016-11-09

[4]

真空度测量装置 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN204202809U ,2015-03-11

[5]

反应腔真空度控制微调装置 [P].

王琦 .

中国专利 :CN206234114U ,2017-06-09

[6]

一种真空灭弧室真空度的测量装置 [P].

何俊隹 ;

邹积岩 ;

张汉明 ;

赵子玉 ;

廖从容 .

中国专利 :CN2319799Y ,1999-05-19

[7]

一种真空度测量装置 [P].

冀胜强 ;

苑术平 ;

王飞 ;

姜西 ;

秦辉 .

中国专利 :CN205958179U ,2017-02-15

[8]

一种真空度测量装置 [P].

李涛 .

中国专利 :CN207991746U ,2018-10-19

[9]

真空灭弧室真空度测量装置 [P].

薛从军 ;

李小钊 ;

刘世柏 ;

赵芳帅 ;

王小焕 ;

齐大翠 ;

亓春伟 ;

李锟 ;

张杨 ;

白丽娜 ;

王茜 ;

王宇浩 ;

唐朝端 ;

苏文豪 .

中国专利 :CN112992599B ,2021-06-18

[10]

一种真空预压真空度测量装置 [P].

何烽 ;

闫红民 ;

陈吉星 ;

冯云轩 ;

赵哲辉 ;

朱芳萍 ;

王法鑫 ;

车宇飞 ;

孙阳 .

中国专利 :CN222231939U ,2024-12-24

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