一种CVD碳化硅反应腔室真空度测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020029167.1

申请日：

2020-01-02

公开(公告)号：

CN211717702U

公开(公告)日：

2020-10-20

发明(设计)人：

白秋云

申请人：

申请人地址：

610200 四川省成都市双流区西航港空港二路1166号

IPC主分类号：

G01L2100

IPC分类号：

代理机构：

成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217

代理人：

潘育敏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 21/00 申请日:20200102 授权公告日:20201020 终止日期:20220102
2020-10-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种CVD反应腔室真空度测量装置 [P].

屈丰超 ;

邓曾红 ;

赵青松 ;

张金斌 ;

南建辉 .

中国专利 :CN209416579U ,2019-09-20

[2]

反应腔真空度控制微调装置 [P].

王琦 .

中国专利 :CN206234114U ,2017-06-09

[3]

一种真空灭弧室真空度的测量装置 [P].

何俊隹 ;

邹积岩 ;

张汉明 ;

赵子玉 ;

廖从容 .

中国专利 :CN2319799Y ,1999-05-19

[4]

一种真空采血管真空度测量仪 [P].

欧阳建华 ;

卢勇 ;

刘锋 .

中国专利 :CN205679355U ,2016-11-09

[5]

一种真空度测量装置 [P].

冀胜强 ;

苑术平 ;

王飞 ;

姜西 ;

秦辉 .

中国专利 :CN205958179U ,2017-02-15

[6]

一种真空度测量装置 [P].

李涛 .

中国专利 :CN207991746U ,2018-10-19

[7]

真空灭弧室真空度测量装置 [P].

薛从军 ;

李小钊 ;

刘世柏 ;

赵芳帅 ;

王小焕 ;

齐大翠 ;

亓春伟 ;

李锟 ;

张杨 ;

白丽娜 ;

王茜 ;

王宇浩 ;

唐朝端 ;

苏文豪 .

中国专利 :CN112992599B ,2021-06-18

[8]

一种真空预压真空度测量装置 [P].

何烽 ;

闫红民 ;

陈吉星 ;

冯云轩 ;

赵哲辉 ;

朱芳萍 ;

王法鑫 ;

车宇飞 ;

孙阳 .

中国专利 :CN222231939U ,2024-12-24

[9]

一种碳化硅产品测量装置 [P].

邹军 ;

兰川渝 ;

肖仕伟 ;

苏子龙 .

中国专利 :CN223710532U ,2025-12-23

[10]

一种真空灭弧室真空度测量装置 [P].

李小钊 ;

薛从军 ;

刘世柏 ;

赵芳帅 ;

王小焕 ;

齐大翠 ;

亓春伟 ;

李锟 ;

张杨 ;

白丽娜 ;

王茜 ;

王宇浩 ;

唐朝端 ;

苏文豪 .

中国专利 :CN112992600B ,2021-06-18

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