一种用于扩散炉自动化缓存的吹气装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121292367.7
申请日
2021-06-09
公开(公告)号
CN215856457U
公开(公告)日
2022-02-18
发明(设计)人
宁超 范斌 李雪锋
申请人
申请人地址
610000 四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
IPC主分类号
C30B3100
IPC分类号
C30B2906 H01L3118
代理机构
成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230
代理人
邓芸
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
自动化吹气装置 [P]. 
邓伟 .
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