一种定位缺陷的载物台及检测装置

被引：0

申请号：

CN202120819712.1

申请日：

2021-04-21

公开(公告)号：

CN216669766U

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

阙金镇冯淦赵建辉

申请人：

申请人地址：

361001 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔星路96号建业楼B座一层

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2101 G02B2126

代理机构：

厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218

代理人：

刘小勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置 [P].

吴殿瑞 ;

王永方 ;

黄长航 ;

邵红 ;

谢新昌 .

中国专利 :CN215812368U ,2022-02-11

[2]

用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置 [P].

张九阳 ;

许晓林 ;

高超 ;

李霞 ;

李磊磊 .

中国专利 :CN211122586U ,2020-07-28

[3]

一种载物台及检测系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213340282U ,2021-06-01

[4]

一种基于圆形结构载物台的多缺陷检测设备 [P].

刘哲 ;

于伯旋 ;

任义烽 .

中国专利 :CN220419128U ,2024-01-30

[5]

一种检测装置及载台 [P].

匡华平 ;

袁玲 ;

易科 ;

王昭棚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN217879880U ,2022-11-22

[6]

一种载台及检测装置 [P].

王忠祥 ;

陆豪亮 ;

管兵 ;

张玉 .

中国专利 :CN221926086U ,2024-10-29

[7]

一种载物台及探针台 [P].

杨应俊 ;

沈杰 .

中国专利 :CN211374831U ,2020-08-28

[8]

用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台 [P].

李辉 ;

王军涛 .

中国专利 :CN217484212U ,2022-09-23

[9]

一种闪烁检测设备的载物台及闪烁检测设备 [P].

陈俊 ;

王琴 ;

汪孟 .

中国专利 :CN209570704U ,2019-11-01

[10]

一种载物台及具有该载物台的搬运车 [P].

沈伟 ;

张少华 .

中国专利 :CN216269615U ,2022-04-12

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