一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122033033.4

申请日：

2021-08-26

公开(公告)号：

CN215812368U

公开(公告)日：

2022-02-11

发明(设计)人：

吴殿瑞王永方黄长航邵红谢新昌

申请人：

申请人地址：

250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号

IPC主分类号：

G01N2101

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716

代理人：

冯妙娜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置 [P].

张九阳 ;

许晓林 ;

高超 ;

李霞 ;

李磊磊 .

中国专利 :CN211122586U ,2020-07-28

[2]

一种晶片缺陷检测装置 [P].

吴殿瑞 ;

王永方 ;

黄长航 ;

邵红 ;

谢新昌 .

中国专利 :CN216208523U ,2022-04-05

[3]

一种定位缺陷的载物台及检测装置 [P].

阙金镇 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN216669766U ,2022-06-03

[4]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[5]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[6]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

杨朝兴 .

中国专利 :CN117288757B ,2024-08-13

[7]

一种缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

赵伟 ;

苏启雄 ;

林映庭 ;

杨小冬 .

中国专利 :CN112577959A ,2021-03-30

[8]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

伊凯 .

中国专利 :CN111610197A ,2020-09-01

[9]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

杨晓青 ;

申永强 ;

韩雪山 ;

王帆 .

中国专利 :CN110658196B ,2020-01-07

[10]

一种缺陷检测装置及缺陷检测系统 [P].

洪志坤 ;

欧昌东 ;

郑增强 ;

刘荣华 .

中国专利 :CN215931709U ,2022-03-01

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