一种晶片缺陷检测装置

被引：0

申请号：

CN202122026723.7

申请日：

2021-08-26

公开(公告)号：

CN216208523U

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

吴殿瑞王永方黄长航邵红谢新昌

申请人：

申请人地址：

250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号

IPC主分类号：

G01N2101

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716

代理人：

冯妙娜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置 [P].

吴殿瑞 ;

王永方 ;

黄长航 ;

邵红 ;

谢新昌 .

中国专利 :CN215812368U ,2022-02-11

[2]

一种晶片缺陷检测装置及其检测方法 [P].

金国善 .

中国专利 :CN118243698A ,2024-06-25

[3]

用于晶片缺陷检测的显微镜载物台及晶片缺陷检测装置 [P].

张九阳 ;

许晓林 ;

高超 ;

李霞 ;

李磊磊 .

中国专利 :CN211122586U ,2020-07-28

[4]

石英晶片外观缺陷检测装置 [P].

陈康 ;

徐兴华 ;

伊利平 ;

鲍旭伟 .

中国专利 :CN217278083U ,2022-08-23

[5]

一种人造蓝宝石晶片缺陷检测装置 [P].

喻更生 ;

周益春 ;

邓谋栋 .

中国专利 :CN104458758A ,2015-03-25

[6]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

章娇 ;

潘传杨 ;

徐晨 .

中国专利 :CN222913463U ,2025-05-27

[7]

一种缺陷检测装置 [P].

王大伟 ;

申俊 ;

周逸铭 ;

黄康 .

中国专利 :CN220542797U ,2024-02-27

[8]

一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置 [P].

宁敏 ;

刘云青 ;

张红岩 ;

高玉强 .

中国专利 :CN203643357U ,2014-06-11

[9]

一种碳化硅晶片的缺陷检测装置 [P].

雷裕 ;

周磊 ;

周杰 ;

田涵文 .

中国专利 :CN222866569U ,2025-05-13

[10]

一种晶片缺陷检测方法及装置 [P].

吴殿瑞 ;

王永方 ;

黄长航 ;

邵红 ;

谢新昌 .

中国专利 :CN113791033A ,2021-12-14

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