一种晶片缺陷检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110987094.6

申请日：

2021-08-26

公开(公告)号：

CN113791033A

公开(公告)日：

2021-12-14

发明(设计)人：

吴殿瑞王永方黄长航邵红谢新昌

申请人：

申请人地址：

250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号

IPC主分类号：

G01N2101

IPC分类号：

G01N2188 G01N2195

代理机构：

北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716

代理人：

冯妙娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	公开	公开
2021-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/01 申请日:20210826

共 50 条

[1]

一种晶片缺陷检测方法 [P].

张杰 ;

周涵 ;

杜寅超 ;

陈江鹏 ;

郑学哲 .

中国专利 :CN113706490A ,2021-11-26

[2]

一种晶片缺陷检测方法 [P].

张杰 ;

周涵 ;

杜寅超 ;

陈江鹏 ;

郑学哲 .

中国专利 :CN113706490B ,2024-01-12

[3]

一种晶片缺陷检测方法 [P].

高海林 ;

赵庆国 .

中国专利 :CN102269712A ,2011-12-07

[4]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

杨朝兴 .

中国专利 :CN117288757B ,2024-08-13

[5]

一种缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

赵伟 ;

苏启雄 ;

林映庭 ;

杨小冬 .

中国专利 :CN112577959A ,2021-03-30

[6]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

伊凯 .

中国专利 :CN111610197A ,2020-09-01

[7]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

杨晓青 ;

申永强 ;

韩雪山 ;

王帆 .

中国专利 :CN110658196B ,2020-01-07

[8]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

张鹏黎 .

中国专利 :CN113533353A ,2021-10-22

[9]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

赵赫 .

中国专利 :CN111551556A ,2020-08-18

[10]

一种晶片缺陷检测装置 [P].

吴殿瑞 ;

王永方 ;

黄长航 ;

邵红 ;

谢新昌 .

中国专利 :CN216208523U ,2022-04-05

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