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一种电路的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811547640.9
申请日：
2018-12-17
公开(公告)号：
CN111326419A
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
严启臻
张玉星
申请人：
申请人地址：
100081 北京市海淀区北四环西路67号中关村国际创新大厦505
IPC主分类号：
H01L2148
IPC分类号：
H01L23373
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/48 申请日:20181217 |
| 2020-06-23 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-03 | 授权 | 授权 |