一种抛光方法及抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610166282.1

申请日：

2016-03-21

公开(公告)号：

CN105798716A

公开(公告)日：

2016-07-27

发明(设计)人：

陈瑞琼

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区西樵镇崇南黎涌陈家村村前大街西八巷3号

IPC主分类号：

B24B706

IPC分类号：

B24B722 B24B2902 B24B5506 B24B4100 B24B4102

代理机构：

广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288

代理人：

唐超文;贺红星

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-07-27	公开	公开
2016-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101675844588 IPC(主分类):B24B 7/06 专利申请号:2016101662821 申请日:20160321
2019-03-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 7/06 申请公布日:20160727

共 50 条

[1]

一种抛光装置及抛光方法 [P].

潘文峰 ;

傅金发 .

中国专利 :CN119635487A ,2025-03-18

[2]

一种晶圆的抛光方法及抛光装置 [P].

袁祥龙 ;

赵洋 ;

吴雪强 ;

郭殿伟 ;

许俊逸 ;

解宇航 ;

杨立山 ;

霍新宇 .

中国专利 :CN118357846A ,2024-07-19

[3]

抛光垫、抛光装置及抛光方法 [P].

涩木俊一 .

中国专利 :CN1628374A ,2005-06-15

[4]

抛光装置及抛光方法 [P].

胡自化 ;

李鑫浩 ;

吴士成 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115488751A ,2022-12-20

[5]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118769029A ,2024-10-15

[6]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118559517A ,2024-08-30

[7]

抛光装置及抛光方法 [P].

胡自化 ;

李鑫浩 ;

吴士成 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115488751B ,2025-03-11

[8]

一种抛光磨具、含抛光磨具的抛光装置及抛光方法 [P].

李二虎 .

中国专利 :CN110587464A ,2019-12-20

[9]

一种光学镜片超光滑抛光的抛光方法及抛光装置 [P].

万一兵 ;

黄洪浜 ;

许僮 ;

伍继民 ;

周斌 .

中国专利 :CN117381552B ,2024-03-01

[10]

一种光学镜片超光滑抛光的抛光方法及抛光装置 [P].

万一兵 ;

黄洪浜 ;

许僮 ;

伍继民 ;

周斌 .

中国专利 :CN117381552A ,2024-01-12

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