抛光装置及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211200101.4

申请日：

2022-09-29

公开(公告)号：

CN115488751B

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

胡自化李鑫浩吴士成封龙龙秦长江陈小告

申请人：

湘潭大学

申请人地址：

411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘27号

IPC主分类号：

B24B31/00

IPC分类号：

B24B1/04 B24B31/12 B24B31/14 B24B47/00

代理机构：

北京京华知联专利代理事务所(普通合伙) 11991

代理人：

李姣姣

法律状态：

授权

国省代码：

湖南省湘潭市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光装置及抛光方法 [P].

胡自化 ;

李鑫浩 ;

吴士成 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115488751A ,2022-12-20

[2]

抛光垫、抛光装置及抛光方法 [P].

涩木俊一 .

中国专利 :CN1628374A ,2005-06-15

[3]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118769029A ,2024-10-15

[4]

抛光方法及抛光装置 [P].

季明华 .

中国专利 :CN118559517A ,2024-08-30

[5]

抛光装置及抛光方法 [P].

翁维襄 .

中国专利 :CN1672870A ,2005-09-28

[6]

硅片边缘抛光装置、抛光鼓及抛光方法 [P].

白宗权 .

中国专利 :CN112692719A ,2021-04-23

[7]

抛光装置及使用该抛光装置的抛光方法 [P].

平野敦也 ;

志志目佳子 ;

工藤健 ;

三个月和人 ;

佐藤广树 ;

依田秀夫 .

中国专利 :CN103862368B ,2014-06-18

[8]

电化学抛光中的支架抛光装置及抛光方法 [P].

钟生平 ;

高洪亮 ;

赵迎红 ;

刘睿 .

中国专利 :CN102251268B ,2011-11-23

[9]

晶片抛光装置及晶片抛光方法 [P].

吴伟立 ;

张志暐 ;

梁修启 ;

余文怀 ;

徐文庆 .

中国专利 :CN115707558B ,2025-09-26

[10]

无应力抛光装置及抛光方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN103692293B ,2014-04-02

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