研磨用组合物和研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010180546.5

申请日：

2020-03-16

公开(公告)号：

CN111718656A

公开(公告)日：

2020-09-29

发明(设计)人：

角桥祐介井泽由裕宗宫晃子

申请人：

申请人地址：

日本爱知县

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21321

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	公开	公开
2022-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20200316

共 50 条

[1]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

吉崎幸信 ;

山崎彩乃 .

中国专利 :CN112552824A ,2021-03-26

[2]

研磨用组合物、研磨方法、及研磨系统 [P].

石田博之 ;

林智裕 ;

森永均 .

日本专利 :CN120718601A ,2025-09-30

[3]

研磨用组合物 [P].

玉井一诚 ;

浅井舞子 ;

森永均 .

中国专利 :CN104769073A ,2015-07-08

[4]

研磨用组合物 [P].

横田周吾 ;

坂部晃一 .

中国专利 :CN104781366A ,2015-07-15

[5]

研磨用组合物 [P].

横田周吾 ;

铃木章太 ;

赤塚朝彦 ;

大和泰之 ;

坂部晃一 ;

井泽由裕 ;

吉崎幸信 ;

斋藤千晶 .

中国专利 :CN106133104A ,2016-11-16

[6]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

杉田规章 ;

松下隆幸 .

中国专利 :CN110050053B ,2019-07-23

[7]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

河村笃纪 ;

佐藤英行 ;

服部雅幸 .

中国专利 :CN101200628A ,2008-06-18

[8]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

河村笃纪 ;

佐藤英行 ;

服部雅幸 .

中国专利 :CN101220256A ,2008-07-16

[9]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

杉田规章 ;

松下隆幸 .

中国专利 :CN110023449A ,2019-07-16

[10]

研磨用组合物和研磨方法 [P].

吴俊辉 .

中国专利 :CN101177603A ,2008-05-14

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