研磨用组合物、研磨方法、及研磨系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510363688.8
申请日
2025-03-26
公开(公告)号
CN120718601A
公开(公告)日
2025-09-30
发明(设计)人
石田博之 林智裕 森永均
申请人
福吉米株式会社
申请人地址
日本
IPC主分类号
C09K3/14
IPC分类号
B24B37/04 B24B37/005
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;李恩华
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨用组合物和研磨方法 [P]. 
角桥祐介 ;
井泽由裕 ;
宗宫晃子 .
中国专利 :CN111718656A ,2020-09-29
[2]
研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
松下隆幸 ;
山崎智基 .
中国专利 :CN106133107B ,2016-11-16
[3]
研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
松田刚 ;
平野达彦 ;
吴俊辉 ;
河村笃纪 ;
酒井谦儿 .
中国专利 :CN100435290C ,2006-11-08
[4]
研磨材料、研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
森永均 ;
玉井一诚 ;
浅井舞子 ;
伊藤友一 ;
天高恭祐 ;
镰田透 .
中国专利 :CN106281221A ,2017-01-04
[5]
研磨用组合物及使用其的研磨方法 [P]. 
若林谅 .
日本专利 :CN118974198A ,2024-11-15
[6]
研磨用组合物及使用其的研磨方法 [P]. 
若林谅 .
日本专利 :CN120897977A ,2025-11-04
[7]
研磨用组合物 [P]. 
后藤修 ;
高间大辉 ;
田中优己 .
日本专利 :CN118103955A ,2024-05-28
[8]
研磨用组合物 [P]. 
井出匠学 ;
田畑诚 ;
高见信一郎 .
中国专利 :CN106463382B ,2017-02-22
[9]
研磨用组合物 [P]. 
多田真树 ;
熊山茜 ;
长野贵仁 .
日本专利 :CN120988642A ,2025-11-21
[10]
研磨用组合物 [P]. 
古本有加里 ;
市坪大辉 .
日本专利 :CN119654704A ,2025-03-18