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MEMS热电堆传感器的测试方法及系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111284620.9
申请日：
2021-11-01
公开(公告)号：
CN113820045B
公开(公告)日：
2021-12-21
发明(设计)人：
石梦
毛海央
刘洋
周娜
申请人：
申请人地址：
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112
IPC主分类号：
G01K1500
IPC分类号：
代理机构：
苏州国诚专利代理有限公司 32293
代理人：
韩凤
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-21 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01K 15/00 申请日:20211101 |
| 2022-05-31 | 授权 | 授权 |