一种镀膜设备及镀膜方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811303767.6
申请日
2018-11-02
公开(公告)号
CN111206210A
公开(公告)日
2020-05-29
发明(设计)人
辛科 杨立红
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号
C23C1402
IPC分类号
C23C1406 C23C1424 H01L3118
代理机构
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人
许志勇
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206204A ,2020-05-29
[2]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206221A ,2020-05-29
[3]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206220A ,2020-05-29
[4]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206209A ,2020-05-29
[5]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206223A ,2020-05-29
[6]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206208A ,2020-05-29
[7]
一种镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
辛科 ;
杨立红 .
中国专利 :CN111206222A ,2020-05-29
[8]
镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
苏超颖 ;
陈麒麟 ;
满小花 .
中国专利 :CN120758855A ,2025-10-10
[9]
沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
田保峡 ;
闻益 ;
曲士座 .
中国专利 :CN111206219A ,2020-05-29
[10]
沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法 [P]. 
田保峡 ;
闻益 ;
曲士座 .
中国专利 :CN111206206A ,2020-05-29