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一种机电一体化六氟化硫密度控制器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121061917.4
申请日：
2021-05-18
公开(公告)号：
CN215117281U
公开(公告)日：
2021-12-10
发明(设计)人：
冯华军
王瑜
申请人：
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区新型工业园创业大道6号
IPC主分类号：
G05D1620
IPC分类号：
G05D1602
G01D2102
代理机构：
西安亿诺专利代理有限公司 61220
代理人：
何春江
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-10 | 授权 | 授权 |