激光束照射装置以及激光束照射方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710002204.9

申请日：

2007-01-12

公开(公告)号：

CN101000863B

公开(公告)日：

2007-07-18

发明(设计)人：

田中幸一郎

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县厚木市

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2120 H01L21268 H01L21336 B23K2606 G02F135 G02B2709 G02B2700 G02B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

程天正;梁永

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-19	授权	授权
2007-07-18	公开	公开
2009-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

激光束焊接装置以及激光束焊接方法 [P].

K·斯彭尼曼 ;

S·吉特尔 .

中国专利 :CN101573205A ,2009-11-04

[2]

激光束照射用光学单元及激光加工装置 [P].

小森一范 ;

坂本敬志 ;

竹本昌纪 .

中国专利 :CN114535790A ,2022-05-27

[3]

激光束加工系统和激光束加工方法 [P].

管原雅之 ;

森俊博 .

中国专利 :CN1127388C ,1996-10-30

[4]

激光束照射设备和基板密封方法 [P].

李廷敏 .

中国专利 :CN103878497A ,2014-06-25

[5]

用于照射激光束的光学模块 [P].

金佖奎 ;

韩圭完 ;

柳济吉 ;

金兑龙 ;

金硕焕 ;

金成坤 .

中国专利 :CN103424866A ,2013-12-04

[6]

激光束处理方法和激光束处理装置 [P].

重松孝一 ;

大宫直树 ;

吉川敏行 .

中国专利 :CN1577755B ,2005-02-09

[7]

激光束处理方法和激光束处理装置 [P].

重松孝一 ;

永井祐介 .

中国专利 :CN1575908A ,2005-02-09

[8]

用于校正激光束的设备以及校正激光束的方法 [P].

咸常根 ;

徐永德 ;

韩承范 ;

梁相熙 .

中国专利 :CN104722917A ,2015-06-24

[9]

激光束定形器 [P].

金渶桓 ;

赖耀升 ;

江建志 .

中国专利 :CN208255550U ,2018-12-18

[10]

激光束退火装置 [P].

车载贤 ;

朴美敬 ;

李感察 ;

全文煐 ;

崔京植 .

中国专利 :CN113644006A ,2021-11-12

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