激光束照射用光学单元及激光加工装置

被引:0
申请号
CN202111096711.X
申请日
2021-09-18
公开(公告)号
CN114535790A
公开(公告)日
2022-05-27
发明(设计)人
小森一范 坂本敬志 竹本昌纪
申请人
申请人地址
日本国埼玉县埼玉市见沼区莲沼1385番地
IPC主分类号
B23K26064
IPC分类号
B23K26073
代理机构
北京正理专利代理有限公司 11257
代理人
张雪梅
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
激光加工装置的激光束定位装置 [P]. 
岩田高明 .
中国专利 :CN1509220A ,2004-06-30
[2]
激光束照射装置以及激光束照射方法 [P]. 
田中幸一郎 .
中国专利 :CN101000863B ,2007-07-18
[3]
激光加工装置和激光束的观察方法 [P]. 
九鬼润一 .
中国专利 :CN114453728A ,2022-05-10
[4]
用激光束照射半导体层的激光加工装置 [P]. 
山崎舜平 ;
张宏勇 ;
石原浩朗 .
中国专利 :CN1921069B ,2007-02-28
[5]
用激光束照射半导体层的激光加工装置 [P]. 
山崎舜平 ;
张宏勇 ;
石原浩朗 .
中国专利 :CN1350322A ,2002-05-22
[6]
激光束调整机构和激光加工装置 [P]. 
小幡翼 .
中国专利 :CN112917003A ,2021-06-08
[7]
激光束加工系统和激光束加工方法 [P]. 
管原雅之 ;
森俊博 .
中国专利 :CN1127388C ,1996-10-30
[8]
激光束机加工装置 [P]. 
细田直义 .
中国专利 :CN1108144C ,1999-08-18
[9]
激光加工装置以及脉冲激光束的输出方法 [P]. 
原章文 .
中国专利 :CN105414749B ,2016-03-23
[10]
激光光束分析仪单元和激光加工装置 [P]. 
九鬼润一 ;
约耳·科维尔 ;
前田圭之介 .
中国专利 :CN109454324B ,2019-03-12