基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910071664.6

申请日：

2009-03-30

公开(公告)号：

CN101520306B

公开(公告)日：

2009-09-02

发明(设计)人：

刘俭谭久彬王伟波王宇航

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1100 G01B1102 G01B1122 G01B1124

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-26	授权	授权
2009-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-09-02	公开	公开

共 50 条

[1]

基于移相干涉的二次共焦测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘俭 .

中国专利 :CN100567884C ,2008-10-01

[2]

基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王伟波 ;

张拓 .

中国专利 :CN103090787A ,2013-05-08

[3]

基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

刘昌华 ;

贾建禄 .

中国专利 :CN119984087A ,2025-05-13

[4]

基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

刘昌华 ;

贾建禄 .

中国专利 :CN119984087B ,2025-09-26

[5]

基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王伟波 ;

张拓 .

中国专利 :CN103115585B ,2013-05-22

[6]

基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置与方法 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王宇航 .

中国专利 :CN103630087A ,2014-03-12

[7]

基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王伟波 ;

张拓 .

中国专利 :CN103105143B ,2013-05-15

[8]

双频共焦台阶高度显微测量装置 [P].

殷纯永 ;

林德教 ;

柳忠尧 ;

张蕊 ;

徐毅 .

中国专利 :CN1180222C ,2002-12-11

[9]

基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王伟波 ;

张拓 .

中国专利 :CN103115583B ,2013-05-22

[10]

基于椭球反射双通照明差动共焦测量装置与方法 [P].

刘俭 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN102759328A ,2012-10-31

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