基板承载固定装置及薄膜沉积设备

被引：0

申请号：

CN202122081483.0

申请日：

2021-08-31

公开(公告)号：

CN216614824U

公开(公告)日：

2022-05-27

发明(设计)人：

林俊成

申请人：

申请人地址：

361101 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区洪溪南路9号A栋102

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人：

孙皓晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

基板承载固定装置及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 ;

沈祐德 ;

郭大豪 ;

郑啓鸿 .

中国专利 :CN214736062U ,2021-11-16

[2]

晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 ;

沈祐德 ;

郭大豪 ;

郑啓鸿 .

中国专利 :CN115132643B ,2025-06-17

[3]

晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 ;

沈祐德 ;

郭大豪 ;

郑啓鸿 .

中国专利 :CN115132643A ,2022-09-30

[4]

基板承载固定机构及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 .

中国专利 :CN115725947B ,2024-12-13

[5]

基板承载固定机构及沉积设备 [P].

林俊成 .

中国专利 :CN216015289U ,2022-03-11

[6]

承载固定装置 [P].

滕永辉 .

中国专利 :CN205812595U ,2016-12-14

[7]

固定装置及原子层沉积设备 [P].

黄政 ;

刘劲麟 ;

孙家兴 ;

陈培宁 ;

湛良健 .

中国专利 :CN223422764U ,2025-10-10

[8]

卷料固定装置及原子层沉积设备 [P].

李哲峰 ;

乌磊 ;

聆领安辛 .

中国专利 :CN212610892U ,2021-02-26

[9]

一种刀具薄膜沉积设备用工件固定装置 [P].

林荣川 ;

林源琳 ;

耿子航 ;

孙世龙 ;

魏莎莎 ;

陈俊荣 ;

师云龙 ;

尤斌 .

中国专利 :CN221940603U ,2024-11-01

[10]

基板固定装置 [P].

陈贤鸿 ;

吴宗恩 .

中国专利 :CN212412029U ,2021-01-26

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