基板承载固定机构及沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122231981.9

申请日：

2021-09-15

公开(公告)号：

CN216015289U

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

林俊成

申请人：

申请人地址：

361101 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区洪溪南路9号A栋102

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C1450 C23C16458

代理机构：

北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139

代理人：

孙皓晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

基板承载固定机构及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 .

中国专利 :CN115725947B ,2024-12-13

[2]

基板承载固定装置及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 .

中国专利 :CN216614824U ,2022-05-27

[3]

基板承载固定装置及薄膜沉积设备 [P].

林俊成 ;

沈祐德 ;

郭大豪 ;

郑啓鸿 .

中国专利 :CN214736062U ,2021-11-16

[4]

承载舟及沉积设备 [P].

王树林 ;

李玉 ;

武凯 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN221460498U ,2024-08-02

[5]

具调整功能的承载机构及沉积设备 [P].

林俊成 ;

沈祐德 .

中国专利 :CN217809643U ,2022-11-15

[6]

晶圆承载结构及薄膜沉积设备 [P].

殷奇 ;

王卓 ;

常亮 ;

汤剑 .

中国专利 :CN222008013U ,2024-11-15

[7]

基板载具及电沉积设备 [P].

闫俊伟 ;

袁广才 ;

董士豪 ;

张国才 ;

王成飞 ;

孙少东 ;

齐琪 ;

曹占锋 ;

潘小杰 .

中国专利 :CN212713813U ,2021-03-16

[8]

基板承载装置及基板传送设备 [P].

林子锦 ;

隋娜 ;

舒文韬 ;

罗江波 ;

杨仲青 .

中国专利 :CN207067767U ,2018-03-02

[9]

基板装载设备及基板承载框体 [P].

陈安顺 .

中国专利 :CN210116749U ,2020-02-28

[10]

衬底承载板和沉积设备 [P].

M·库诺 ;

K·阿库拉蒂 ;

A·齐默曼 ;

R·杰维斯 .

中国专利 :CN201266602Y ,2009-07-01

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