衬底承载板和沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820125314.4

申请日：

2008-07-04

公开(公告)号：

CN201266602Y

公开(公告)日：

2009-07-01

发明(设计)人：

M·库诺 K·阿库拉蒂 A·齐默曼 R·杰维斯

申请人：

申请人地址：

瑞士苏黎世

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2100 C23C16458 C23C1644 C23C1626

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

王茂华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-27	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20080704 授权公告日:20090701
2009-07-01	授权	授权
2018-06-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/683 登记生效日:20180528 变更事项:专利权人变更前权利人:ABB技术有限公司变更后权利人:ABB瑞士股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:瑞士苏黎世变更后权利人:瑞士巴登

共 50 条

[1]

衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备 [P].

刘龙珉 ;

孙宗源 ;

崔丞佑 ;

姜东锡 .

中国专利 :CN107201507B ,2017-09-26

[2]

承载舟及沉积设备 [P].

王树林 ;

李玉 ;

武凯 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN221460498U ,2024-08-02

[3]

沉积设备及衬底制造方法 [P].

森胁崇行 .

中国专利 :CN101768734A ,2010-07-07

[4]

承载板和承载车 [P].

张秀梅 ;

常龙 .

中国专利 :CN221477141U ,2024-08-06

[5]

喷淋板和原子层沉积设备 [P].

年梦楠 .

中国专利 :CN223688446U ,2025-12-19

[6]

处理衬底的方法和真空沉积设备 [P].

E·舒格尔 ;

S·吉斯 .

中国专利 :CN112105754A ,2020-12-18

[7]

外延片承载装置和化学气相沉积设备 [P].

程凯 ;

刘凯 .

中国专利 :CN215757732U ,2022-02-08

[8]

沉积设备和沉积方法 [P].

西村一仁 ;

笹冈秀纪 .

中国专利 :CN101469417B ,2009-07-01

[9]

沉积设备和沉积方法 [P].

西村一仁 ;

笹冈秀纪 .

中国专利 :CN101463472B ,2009-06-24

[10]

衬底支撑基座和应用该衬底支撑基座的化学气相沉积设备 [P].

李一成 .

中国专利 :CN201817546U ,2011-05-04

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