衬底支撑板和包含其的薄膜沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710158646.6

申请日：

2017-03-16

公开(公告)号：

CN107201507B

公开(公告)日：

2017-09-26

发明(设计)人：

刘龙珉孙宗源崔丞佑姜东锡

申请人：

申请人地址：

荷兰AP1322阿尔梅勒佛斯特卡尔斯瑞特8

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16455

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨贝贝;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20170316
2017-09-26	公开	公开
2019-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜沉积设备和利用其沉积薄膜的方法 [P].

李侑钟 .

中国专利 :CN103572242A ,2014-02-12

[2]

衬底承载板和沉积设备 [P].

M·库诺 ;

K·阿库拉蒂 ;

A·齐默曼 ;

R·杰维斯 .

中国专利 :CN201266602Y ,2009-07-01

[3]

薄膜沉积设备以及用其沉积薄膜的方法 [P].

韩政洹 .

中国专利 :CN103805941B ,2014-05-21

[4]

沉积源和包括其的沉积设备 [P].

李振榕 ;

柳景泰 .

韩国专利 :CN121023431A ,2025-11-28

[5]

衬底支撑基座和应用该衬底支撑基座的化学气相沉积设备 [P].

李一成 .

中国专利 :CN201817546U ,2011-05-04

[6]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

韩亚朋 ;

骆金龙 .

中国专利 :CN113430501A ,2021-09-24

[7]

薄膜沉积设备和薄膜沉积系统 [P].

姜敞晧 ;

权铉九 ;

玄在根 .

中国专利 :CN103097568A ,2013-05-08

[8]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

张图 ;

杨依龙 .

中国专利 :CN115928034B ,2025-11-11

[9]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

钱心嘉 .

中国专利 :CN117845181A ,2024-04-09

[10]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

朱瑞 ;

王馨悦 ;

贾兰 ;

王璐 ;

李疆琨 ;

李培培 ;

张腾 .

中国专利 :CN119663249A ,2025-03-21

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