一种新型ALD铝舟定位块

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申请号
CN202220082451.4
申请日
2022-01-13
公开(公告)号
CN217536151U
公开(公告)日
2022-10-04
发明(设计)人
朱腾骏 徐晓斌 李正清 潘长亮
申请人
申请人地址
215611 江苏省苏州市张家港市塘桥镇兄华路7号张家港博佑光电科技有限公司
IPC主分类号
C23C16455
IPC分类号
C23C16458
代理机构
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531
代理人
葛葆财
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种铝舟生产用新型主机 [P]. 
徐晓斌 ;
朱腾骏 ;
李正清 ;
潘长亮 .
中国专利 :CN217543762U ,2022-10-04
[2]
一种可拆卸的TOPCon电池ALD铝舟 [P]. 
安平 ;
陈伟 ;
陈继 ;
王赟 ;
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[3]
一种ALD铝舟匀流板 [P]. 
李想 ;
侯章亮 .
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[4]
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张光辉 ;
彭平 ;
高志强 ;
李旭杰 ;
冀优林 ;
许义 ;
李志强 ;
吴强 .
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[5]
一种新型石墨舟 [P]. 
余波 ;
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王田飞 .
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[6]
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张学强 ;
张建伟 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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阮丹 ;
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