一种ALD设备用铝舟载具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322790809.6

申请日：

2023-10-17

公开(公告)号：

CN220999825U

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

张光辉彭平高志强李旭杰冀优林许义李志强吴强

申请人：

平煤隆基新能源科技有限公司

申请人地址：

461000 河南省许昌市襄城县产业集聚区(襄业路中段）

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

郑州隆盛专利代理事务所(普通合伙) 41143

代理人：

赵媛媛

法律状态：

授权

国省代码：

河南省商丘市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型ALD铝舟定位块 [P].

朱腾骏 ;

徐晓斌 ;

李正清 ;

潘长亮 .

中国专利 :CN217536151U ,2022-10-04

[2]

一种ALD铝舟匀流板 [P].

李想 ;

侯章亮 .

中国专利 :CN221522775U ,2024-08-13

[3]

一种ALD镀膜载具 [P].

戴兴旺 ;

李宁 ;

居法银 .

中国专利 :CN218465937U ,2023-02-10

[4]

一种镭焊设备用载具 [P].

林焕城 .

中国专利 :CN207372515U ,2018-05-18

[5]

一种纽扣清洗设备用载具 [P].

乔晓东 .

中国专利 :CN215696613U ,2022-02-01

[6]

一种可拆卸的TOPCon电池ALD铝舟 [P].

安平 ;

陈伟 ;

陈继 ;

王赟 ;

张华东 .

中国专利 :CN221988657U ,2024-11-12

[7]

一种石英舟的固定载具 [P].

李宏亮 ;

李洪 ;

陈学传 ;

丁峰 ;

程瑞 ;

文香炎 .

中国专利 :CN223401582U ,2025-09-30

[8]

一种石英舟的固定载具 [P].

蔡彬 ;

郑涛 ;

王飞华 ;

兰锋 .

中国专利 :CN221827854U ,2024-10-11

[9]

一种光亮设备用载具搬运装置 [P].

孟凡博 ;

孟庆民 ;

朱代莲 .

中国专利 :CN209889801U ,2020-01-03

[10]

一种基于石墨舟清洗用载具 [P].

宁利军 .

中国专利 :CN214211635U ,2021-09-17

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