溅射靶用氧化铬粉末及溅射靶

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200680021592.9
申请日
2006-03-10
公开(公告)号
CN101198716B
公开(公告)日
2008-06-11
发明(设计)人
高见英生 矢作政隆
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C01G37033 C04B3512
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
王海川;樊卫民
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
溅射靶制造方法及溅射靶 [P]. 
斋藤淳 .
中国专利 :CN102959122A ,2013-03-06
[2]
溅射靶及溅射靶制造用接合体 [P]. 
泷川干雄 .
中国专利 :CN113215540A ,2021-08-06
[3]
溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法 [P]. 
竹田博贵 ;
藤田昌宏 .
中国专利 :CN110709532B ,2020-01-17
[4]
溅射靶用铜材料及溅射靶 [P]. 
矢野翔一郎 ;
坂本敏夫 ;
佐藤志信 .
中国专利 :CN109312425A ,2019-02-05
[5]
溅射靶的制造方法及溅射靶 [P]. 
藤田昌宏 ;
西冈宏司 .
中国专利 :CN109952389A ,2019-06-28
[6]
溅射靶及溅射靶的制造方法 [P]. 
芦小丽 ;
新田纯一 ;
中村晃 ;
佐藤美穂 .
中国专利 :CN111051566A ,2020-04-21
[7]
溅射靶及溅射靶的制造方法 [P]. 
和田优 ;
斋藤胜仁 ;
川越裕 ;
武末健太郎 ;
高桥一寿 .
日本专利 :CN113508187B ,2024-02-27
[8]
溅射靶及溅射靶的处理方法 [P]. 
大场彰 ;
新田纯一 ;
原田宣宏 ;
金丰 ;
美原康雄 .
中国专利 :CN102317498A ,2012-01-11
[9]
溅射靶的制造方法及溅射靶 [P]. 
泷川干雄 .
中国专利 :CN108350565A ,2018-07-31
[10]
溅射靶及溅射靶的制造方法 [P]. 
和田优 ;
斋藤胜仁 ;
川越裕 ;
武末健太郎 ;
高桥一寿 .
中国专利 :CN113544308B ,2021-10-22