用于增强确定衬底上的结构的坐标时的测量精确度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710101797.4

申请日：

2007-05-15

公开(公告)号：

CN101074866A

公开(公告)日：

2007-11-21

发明(设计)人：

伯塞尔·汉斯·阿图尔沙夫·安地列斯

申请人：

申请人地址：

德国玮堡35781库巴查尔维格4号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1130

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-11-21	公开	公开
2010-02-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法 [P].

N·潘迪 ;

D·阿克布卢特 ;

亚历山德罗·波洛 ;

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 .

中国专利 :CN111656183A ,2020-09-11

[2]

用于确定衬底上目标结构的位置的设备和方法 [P].

N·潘迪 ;

D·阿克布卢特 ;

亚历山德罗·波洛 ;

塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 .

:CN111656183B ,2024-01-19

[3]

一种测量精确度高的变送器 [P].

曹立宁 .

中国专利 :CN218349526U ,2023-01-20

[4]

一种高精确度的测量装置 [P].

李红燕 ;

李少昆 ;

王克如 .

中国专利 :CN207866320U ,2018-09-14

[5]

一种高精确度的测量装置 [P].

李红燕 ;

李少昆 ;

王克如 .

中国专利 :CN108225471A ,2018-06-29

[6]

通过先进机器学习技术的测量精确度的自动优化 [P].

詹天荣 ;

徐寅 ;

列-关·里奇·利 .

中国专利 :CN111566674A ,2020-08-21

[7]

通过先进机器学习技术的测量精确度的自动优化 [P].

詹天荣 ;

徐寅 ;

列-关·里奇·利 .

美国专利 :CN111566674B ,2024-06-28

[8]

一种测量精确度高的电磁水表 [P].

孙卫国 ;

邹孝旺 ;

杨俊 .

中国专利 :CN119984421A ,2025-05-13

[9]

高精确度的雨量器 [P].

李向 .

中国专利 :CN203012169U ,2013-06-19

[10]

用于检测零件夹持器的尺寸精确度的方法 [P].

H·巴特克 ;

A·皮施克 .

中国专利 :CN108072323A ,2018-05-25

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