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一种硅片镀膜用石墨框
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201620582159.3
申请日
:
2016-06-16
公开(公告)号
:
CN205974661U
公开(公告)日
:
2017-02-22
发明(设计)人
:
袁中存
党继东
俞亚东
张标
申请人
:
申请人地址
:
215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号
:
C23C16458
IPC分类号
:
C23C1634
H01L3118
代理机构
:
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251
代理人
:
陆金星
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-02-22
授权
授权
2018-07-10
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20160616 授权公告日:20170222 终止日期:20170616
共 50 条
[1]
一种硅片镀膜用石墨框卡钩
[P].
刘粉霞
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘粉霞
.
中国专利
:CN203007413U
,2013-06-19
[2]
硅片镀膜用石墨舟
[P].
王博文
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王博文
;
孟祥熙
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孟祥熙
.
中国专利
:CN209607715U
,2019-11-08
[3]
一种硅片镀膜用石墨舟
[P].
黄勤健
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黄勤健
;
隆霹显
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隆霹显
;
陈志运
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陈志运
;
王世贤
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王世贤
;
张华
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张华
;
陈清波
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陈清波
;
杜教峰
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杜教峰
.
中国专利
:CN204857687U
,2015-12-09
[4]
一种硅片镀膜用石墨舟
[P].
张伟
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张伟
.
中国专利
:CN213232489U
,2021-05-18
[5]
一种直接法硅片镀膜用石墨载板
[P].
王立建
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王立建
;
李潘剑
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李潘剑
.
中国专利
:CN202076300U
,2011-12-14
[6]
一种硅片镀膜用的石墨舟
[P].
李永超
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李永超
;
崔景光
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崔景光
.
中国专利
:CN202373621U
,2012-08-08
[7]
一种承载硅片的石墨框装置
[P].
张春华
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张春华
;
李栋
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李栋
;
高文丽
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高文丽
;
孟祥熙
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孟祥熙
.
中国专利
:CN203674185U
,2014-06-25
[8]
一种硅片电池镀膜用石墨舟片及石墨舟
[P].
王鹏
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王鹏
;
何秋霞
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何秋霞
;
马擎天
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马擎天
.
中国专利
:CN210866226U
,2020-06-26
[9]
一种硅片镀膜用支撑钩
[P].
赵钰雪
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赵钰雪
;
辛国军
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辛国军
;
章灵军
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章灵军
.
中国专利
:CN201495284U
,2010-06-02
[10]
一种硅片镀膜片
[P].
张瑞麟
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张瑞麟
;
蔡林林
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蔡林林
;
李江波
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李江波
;
曹子玉
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曹子玉
;
孙丹芳
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孙丹芳
;
汪平锋
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汪平锋
.
中国专利
:CN212517216U
,2021-02-09
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