一种承载硅片的石墨框装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320774066.7

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN203674185U

公开(公告)日：

2014-06-25

发明(设计)人：

张春华李栋高文丽孟祥熙

申请人：

申请人地址：

215011 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-25	授权	授权

共 50 条

[1]

用于承载硅片的石墨框 [P].

陈其成 ;

曹育红 .

中国专利 :CN210040159U ,2020-02-07

[2]

一种石墨框承载装置 [P].

张春华 ;

周剑 ;

向宏伟 ;

李栋 ;

高文丽 ;

孟祥熙 ;

辛国军 .

中国专利 :CN202758857U ,2013-02-27

[3]

一种硅片承载装置的承载框结构 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN217182149U ,2022-08-12

[4]

单多晶硅片承载石墨框 [P].

李德平 ;

何丹 .

中国专利 :CN216250662U ,2022-04-08

[5]

一种硅片承载框 [P].

余仲 ;

黄进权 .

中国专利 :CN201440408U ,2010-04-21

[6]

一种硅片承载框 [P].

班群 ;

康凯 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202473878U ,2012-10-03

[7]

硅片承载框 [P].

余仲 ;

黄进权 .

中国专利 :CN201243011Y ,2009-05-20

[8]

硅片承载孔个数可调式石墨框 [P].

齐轶 ;

曹钺 .

中国专利 :CN207217490U ,2018-04-10

[9]

一种石墨框承载装置 [P].

张春华 ;

陈佳男 ;

衡阳 ;

郑旭然 ;

李栋 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN205275698U ,2016-06-01

[10]

一种硅片镀膜用石墨框 [P].

袁中存 ;

党继东 ;

俞亚东 ;

张标 .

中国专利 :CN205974661U ,2017-02-22

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