用于承载硅片的石墨框

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201921222253.8
申请日
2019-07-31
公开(公告)号
CN210040159U
公开(公告)日
2020-02-07
发明(设计)人
陈其成 曹育红
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
单多晶硅片承载石墨框 [P]. 
李德平 ;
何丹 .
中国专利 :CN216250662U ,2022-04-08
[2]
硅片承载框 [P]. 
余仲 ;
黄进权 .
中国专利 :CN201243011Y ,2009-05-20
[3]
一种承载硅片的石墨框装置 [P]. 
张春华 ;
李栋 ;
高文丽 ;
孟祥熙 .
中国专利 :CN203674185U ,2014-06-25
[4]
硅片承载孔个数可调式石墨框 [P]. 
齐轶 ;
曹钺 .
中国专利 :CN207217490U ,2018-04-10
[5]
单多晶硅片通用型承载石墨框 [P]. 
李慧 ;
董建文 .
中国专利 :CN205211719U ,2016-05-04
[6]
用于承载硅片的硅片花篮 [P]. 
孟祥熙 ;
潘维 .
中国专利 :CN209859931U ,2019-12-27
[7]
一种硅片承载框 [P]. 
余仲 ;
黄进权 .
中国专利 :CN201440408U ,2010-04-21
[8]
一种硅片承载框 [P]. 
班群 ;
康凯 ;
陈刚 .
中国专利 :CN202473878U ,2012-10-03
[9]
一种硅片承载装置的承载框结构 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张清清 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN217182149U ,2022-08-12
[10]
一种能够承载两种尺寸的硅片的石墨框 [P]. 
高宁鑫 .
中国专利 :CN206428327U ,2017-08-22