一种石墨框承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201521134384.2

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN205275698U

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

张春华陈佳男衡阳郑旭然李栋孟祥熙

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16458 H01L3118 H01L310216

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

陆金星

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101745641118 IPC(主分类):C23C 16/34 专利号:ZL2015211343842 登记生效日:20170105 变更事项:专利权人变更前权利人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更后权利人:苏州晶银新材料股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更后权利人:215129 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号
2016-06-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨框承载装置 [P].

张春华 ;

周剑 ;

向宏伟 ;

李栋 ;

高文丽 ;

孟祥熙 ;

辛国军 .

中国专利 :CN202758857U ,2013-02-27

[2]

一种承载硅片的石墨框装置 [P].

张春华 ;

李栋 ;

高文丽 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN203674185U ,2014-06-25

[3]

一种硅片承载装置的承载框结构 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN217182149U ,2022-08-12

[4]

一种板式PECVD石墨框承载挂钩 [P].

张道炎 ;

韩少鹏 ;

杨超 ;

姜大俊 ;

潘励刚 ;

郑旭然 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206595243U ,2017-10-27

[5]

一种适用于板式PECVD的石墨框及承载装置 [P].

张标 ;

党继东 ;

晏文春 .

中国专利 :CN205774794U ,2016-12-07

[6]

一种悬空式硅片承载框及承载装置 [P].

高晗 ;

杨宗明 ;

王小东 ;

温科胜 ;

唐志意 .

中国专利 :CN215266218U ,2021-12-21

[7]

用于承载硅片的石墨框 [P].

陈其成 ;

曹育红 .

中国专利 :CN210040159U ,2020-02-07

[8]

一种外框开口机承载装置 [P].

谭本富 .

中国专利 :CN207447946U ,2018-06-05

[9]

单多晶硅片承载石墨框 [P].

李德平 ;

何丹 .

中国专利 :CN216250662U ,2022-04-08

[10]

一种石墨加工用载物承载装置 [P].

赵万仓 ;

王新征 ;

马爱玲 ;

宋奇伟 ;

张朝阳 .

中国专利 :CN217442261U ,2022-09-16

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