一种电控二级研磨装置及其控制方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810329419.X
申请日
2018-04-13
公开(公告)号
CN108311210A
公开(公告)日
2018-07-24
发明(设计)人
李锐 孙福明
申请人
申请人地址
121001 辽宁省锦州市古塔区士英街169号
IPC主分类号
B02C418
IPC分类号
B02C442 B02C708 B02C714 B02C2302
代理机构
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369
代理人
李烨
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种电控二级研磨装置 [P]. 
李锐 ;
孙福明 .
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一种二级研磨装置 [P]. 
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李志隆 .
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[5]
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