一种AlCr+α-Al2O3溅射靶材及制备与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910264818.7

申请日：

2019-04-03

公开(公告)号：

CN109989044A

公开(公告)日：

2019-07-09

发明(设计)人：

邱万奇杨宇程奕天焦东玲钟喜春刘仲武

申请人：

申请人地址：

510640 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408 C22C3000 C22C3200

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

罗啸秋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-21	授权	授权
2019-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190403
2019-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法 [P].

贾泽夏 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

顾宗慧 .

中国专利 :CN106282943A ,2017-01-04

[2]

Al2O3溅射靶及其制造方法 [P].

小井土由将 .

中国专利 :CN110073029A ,2019-07-30

[3]

ZnO-Al2O3-MgO溅射靶及其制备方法 [P].

安德列亚斯·赫尔佐克 ;

克里斯托夫·西蒙斯 .

中国专利 :CN105008579A ,2015-10-28

[4]

一种氧化锌基溅射靶材及其制备方法与应用 [P].

方宏 ;

冯海权 ;

吕建钢 ;

黎琦 ;

蒙心钰 .

中国专利 :CN119306489A ,2025-01-14

[5]

一种溅射靶材及溅射装置 [P].

高局 ;

赵亚东 ;

钟志明 ;

陈楚杰 ;

杨小龙 ;

方梁洪 .

中国专利 :CN213061007U ,2021-04-27

[6]

一种高纯钴溅射靶材的制备方法、高纯钴溅射靶材及应用 [P].

王兴权 ;

李勇军 ;

罗俊锋 ;

何金江 ;

徐国进 ;

丁照崇 ;

刘丹 ;

朱孜毅 .

中国专利 :CN116288237B ,2025-09-02

[7]

一种Al-Cu溅射靶材及其制备方法 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

广田二郎 ;

中村晃 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN113025973A ,2021-06-25

[8]

一种溅射靶材 [P].

闵炼锋 .

中国专利 :CN102912301A ,2013-02-06

[9]

一种溅射靶材 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

苏阳能 .

中国专利 :CN220413509U ,2024-01-30

[10]

一种溅射靶材 [P].

高岩 ;

何金江 ;

郭力山 ;

曾浩 .

中国专利 :CN202530154U ,2012-11-14

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