Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610752565.4

申请日：

2016-08-29

公开(公告)号：

CN106282943A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

贾泽夏庄志杰诸斌顾宗慧

申请人：

申请人地址：

215214 江苏省苏州市吴江市汾湖经济开发区汾杨路东侧

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

郭春远

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700838195 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2016107525654 申请日:20160829
2017-01-04	公开	公开
2022-07-12	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 登记号:Y2022320010289 登记生效日:20220627 出质人:基迈克材料科技（苏州）有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司苏州长三角一体化示范区分行发明名称:Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法申请日:20160829 授权公告日:20181218
2018-12-18	授权	授权

共 50 条

[1]

Al2O3溅射靶及其制造方法 [P].

小井土由将 .

中国专利 :CN110073029A ,2019-07-30

[2]

一种AlCr+α-Al2O3溅射靶材及制备与应用 [P].

邱万奇 ;

杨宇 ;

程奕天 ;

焦东玲 ;

钟喜春 ;

刘仲武 .

中国专利 :CN109989044A ,2019-07-09

[3]

Y2O3掺杂Al2O3微波介质陶瓷的制备方法 [P].

卢路平 .

中国专利 :CN107867829A ,2018-04-03

[4]

ZnO-Al2O3-MgO溅射靶及其制备方法 [P].

安德列亚斯·赫尔佐克 ;

克里斯托夫·西蒙斯 .

中国专利 :CN105008579A ,2015-10-28

[5]

SnO2掺杂ZnO溅射靶材的制备方法 [P].

贾泽夏 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

顾宗慧 .

中国专利 :CN106222618A ,2016-12-14

[6]

In2O3－ZnO系溅射靶 [P].

糸濑将之 ;

西村麻美 ;

砂川美佐 ;

笠见雅司 ;

矢野公规 .

中国专利 :CN103518003A ,2014-01-15

[7]

一种用γ-Al2O3制备α-Al2O3单晶体的制备方法及其设备 [P].

林志高 .

中国专利 :CN103014855A ,2013-04-03

[8]

In2O3－SnO2－ZnO系溅射靶 [P].

糸濑将之 ;

西村麻美 ;

砂川美佐 ;

笠见雅司 ;

矢野公规 .

中国专利 :CN103534382A ,2014-01-22

[9]

一种用γ-Al2O3制备α-Al2O3单晶体的烧结炉 [P].

林志高 .

中国专利 :CN203007482U ,2013-06-19

[10]

一种Al2O3掺杂UO2‑10wt%Gd2O3可燃毒物及其制备方法 [P].

王辉 ;

潘小强 ;

黄华伟 ;

解怀英 ;

尹昌耕 ;

邱绍宇 .

中国专利 :CN104821187B ,2015-08-05

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