一种基于MIM结构的表面等离激元增强的光电探测器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410243025.4
申请日
2014-06-03
公开(公告)号
CN104064620A
公开(公告)日
2014-09-24
发明(设计)人
李孝峰 吴凯 吴绍龙 杨阵海 李珂
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号
IPC主分类号
H01L3109
IPC分类号
代理机构
北京康盛知识产权代理有限公司 11331
代理人
伊美年
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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