薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法及阵列基板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510264905.4

申请日：

2015-05-22

公开(公告)号：

CN106298523A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

方国龙高逸群林欣桦施博理李志隆

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2712 H01L29786 H01L2177

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

汪飞亚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-17	授权	授权
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700839016 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2015102649054 申请日:20150522
2017-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

薄膜晶体管、薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 [P].

徐铉植 ;

金峰澈 ;

金大元 .

中国专利 :CN103258743A ,2013-08-21

[2]

薄膜晶体管阵列基板制造方法及薄膜晶体管阵列基板 [P].

戴天明 .

中国专利 :CN103985716B ,2014-08-13

[3]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

谭莉 ;

吴宾宾 .

中国专利 :CN101645418A ,2010-02-10

[4]

薄膜晶体管阵列基板的制造方法 [P].

李俊峰 ;

李喜峰 .

中国专利 :CN100578760C ,2008-01-09

[5]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

刘翔 ;

王章涛 ;

谢振宇 ;

陈旭 ;

林承武 .

中国专利 :CN101656232A ,2010-02-24

[6]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

谭莉 ;

吴宾宾 .

中国专利 :CN101710579A ,2010-05-19

[7]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

秦丹丹 .

中国专利 :CN101609236A ,2009-12-23

[8]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

江志雄 ;

蒙艳红 .

中国专利 :CN109545751B ,2019-03-29

[9]

薄膜晶体管、薄膜晶体管基板及其制造方法 [P].

李殷国 ;

金度贤 ;

郑敞午 ;

李制勋 ;

林淳权 .

中国专利 :CN101226901A ,2008-07-23

[10]

薄膜晶体管阵列基板制造方法 [P].

李家琪 ;

黄舒宁 .

中国专利 :CN109727911A ,2019-05-07

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