混合研磨剂抛光组合物及其使用方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200480003457.2
申请日
2004-02-04
公开(公告)号
CN100355846C
公开(公告)日
2006-03-15
发明(设计)人
阿特纳福·N·查尼耶利夫 孙韬
申请人
申请人地址
美国伊利诺伊州
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
C09K314 H01L21321 H01L21768
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
宋莉;贾静环
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
混合研磨剂型抛光组合物 [P]. 
B.赖斯 ;
J.娜拉斯科斯基 ;
V.拉姆 ;
R.贾 ;
J.戴萨德 .
中国专利 :CN105814163B ,2016-07-27
[2]
研磨剂组合物以及使用研磨剂组合物的研磨方法 [P]. 
后藤优治 ;
堀本真树 ;
原口哲朗 ;
巢河慧 .
日本专利 :CN120648439A ,2025-09-16
[3]
研磨剂组合物以及使用研磨剂组合物的研磨方法 [P]. 
后藤优治 ;
堀本真树 ;
原口哲朗 ;
巢河慧 .
日本专利 :CN116323842B ,2025-05-30
[4]
磷酸研磨剂及其使用方法 [P]. 
桂秦源 ;
高鹏 ;
沈澄 ;
何美佳 .
美国专利 :CN120077492A ,2025-05-30
[5]
研磨剂组合物 [P]. 
川原彰裕 ;
内藤健治 .
日本专利 :CN113444454B ,2024-04-05
[6]
包含铈土研磨剂的抛光组合物 [P]. 
B.赖斯 ;
D.索特范内斯 ;
林越 ;
A.海恩斯 ;
S.克拉夫特 ;
贾仁合 .
中国专利 :CN107427988A ,2017-12-01
[7]
研磨剂组合物 [P]. 
川原彰裕 ;
内藤健治 .
中国专利 :CN113444454A ,2021-09-28
[8]
研磨剂组合物 [P]. 
川原彰裕 ;
内藤健治 .
中国专利 :CN113444455A ,2021-09-28
[9]
研磨剂组合物 [P]. 
川原彰裕 ;
内藤健治 .
中国专利 :CN113493652A ,2021-10-12
[10]
研磨剂组合物 [P]. 
川原彰裕 ;
内藤健治 .
日本专利 :CN113493652B ,2024-05-28