基于薄膜体声波谐振器的无线微小质量传感器网络节点

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910312219.4

申请日：

2009-12-24

公开(公告)号：

CN102109374A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

程维维韩雁董树荣赵士恒张慧金吴梦军韩晓霞

申请人：

申请人地址：

310027 浙江省杭州市浙大路38号

IPC主分类号：

G01G316

IPC分类号：

代理机构：

贵阳中新专利商标事务所 52100

代理人：

吴无惧;刘思宁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	公开	公开
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096117801 IPC(主分类):G01G 3/16 专利申请号:2009103122194 申请日:20091224
2012-05-02	授权	授权
2014-02-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101572122022 IPC(主分类):G01G 3/16 专利号:ZL2009103122194 申请日:20091224 授权公告日:20120502 终止日期:20121224

共 50 条

[1]

基于薄膜体声波谐振器的磁场传感器 [P].

柏沁园 ;

韦一 ;

唐莹 ;

王玉龙 .

中国专利 :CN212569097U ,2021-02-19

[2]

基于薄膜体声波谐振器的湿度传感器件 [P].

赵湛 ;

张萌颖 ;

杜利东 ;

方震 .

中国专利 :CN104990968B ,2015-10-21

[3]

基于薄膜体声波谐振器的柔性触觉传感器阵列 [P].

袁严辉 ;

廖丹 ;

王悦辉 ;

顾晓勤 ;

谢辉 ;

张国庆 ;

黎萍 ;

于楚泓 .

中国专利 :CN109387235A ,2019-02-26

[4]

基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器 [P].

胡娜娜 ;

董树荣 ;

骆季奎 ;

郭维 ;

卞晓磊 .

中国专利 :CN203998935U ,2014-12-10

[5]

一种基于差频式薄膜体声波谐振器的微质量传感器 [P].

乔东海 ;

汤亮 ;

邓英 ;

田静 .

中国专利 :CN101105476A ,2008-01-16

[6]

基于薄膜体声波谐振器的磁场传感器及制备方法 [P].

韦一 ;

柏沁园 ;

唐莹 ;

王玉龙 .

中国专利 :CN111965572A ,2020-11-20

[7]

基于薄膜体声波谐振器的MEMS红外传感器制备方法 [P].

胡娜娜 ;

董树荣 ;

骆季奎 ;

郭维 ;

卞晓磊 .

中国专利 :CN104030234B ,2014-09-10

[8]

薄膜体声波谐振器 [P].

窦韶旭 ;

吴珂 ;

韩琦 ;

王超 ;

庄玉召 ;

程诗阳 ;

张丽蓉 ;

杨帅 .

中国专利 :CN111404509A ,2020-07-10

[9]

薄膜体声波谐振器 [P].

欧文 .

中国专利 :CN211744436U ,2020-10-23

[10]

薄膜体声波谐振器 [P].

张树民 ;

王国浩 ;

汪泉 .

中国专利 :CN209930221U ,2020-01-10

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