一种剥离工艺后金属回收系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810794982.4
申请日
2018-07-19
公开(公告)号
CN110735036A
公开(公告)日
2020-01-31
发明(设计)人
刘忠贺 王一
申请人
申请人地址
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号
C22B700
IPC分类号
H01L2102
代理机构
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人
何丽英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
剥离工艺后金属回收系统 [P]. 
刘忠贺 ;
王一 .
中国专利 :CN208455046U ,2019-02-01
[2]
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[3]
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[4]
晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置 [P]. 
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[5]
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[6]
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