一种硅片缓存装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820866937.0
申请日
2018-06-05
公开(公告)号
CN208433391U
公开(公告)日
2019-01-25
发明(设计)人
李思泉 陈海国 肖俊琳 钟雄雄 尹小玲 李伟强 郑楷熠
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L3118 H01L21683
代理机构
深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 44368
代理人
李永华;张广兴
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片缓存装置 [P]. 
顾徐锋 ;
戴秋喜 ;
潘加永 ;
刘光照 .
中国专利 :CN218319227U ,2023-01-17
[2]
一种硅片缓存装置 [P]. 
张弛 ;
王志刚 ;
王四海 .
中国专利 :CN208655602U ,2019-03-26
[3]
一种硅片缓存装置 [P]. 
吴廷斌 ;
张学强 ;
张建伟 ;
罗银兵 ;
黄亚云 .
中国专利 :CN214876539U ,2021-11-26
[4]
一种硅片缓存装置 [P]. 
张银涛 ;
梁跃 ;
王永谦 ;
陈刚 .
中国专利 :CN221057379U ,2024-05-31
[5]
一种硅片运输缓存装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN213304087U ,2021-05-28
[6]
一种硅片运输缓存装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN212580471U ,2021-02-23
[7]
一种硅片花篮缓存装置 [P]. 
刘祖利 ;
叶凌云 .
中国专利 :CN214254380U ,2021-09-21
[8]
一种硅片立体缓存仓 [P]. 
沈宇澄 ;
符文晓 ;
王涛 ;
李小朋 ;
孟新 .
中国专利 :CN223200792U ,2025-08-08
[9]
一种硅片翻转缓存机构 [P]. 
林佳继 ;
周欢 ;
时祥 ;
刘世玉 .
中国专利 :CN215869430U ,2022-02-18
[10]
一种硅片上下料的缓存装置 [P]. 
曹振华 ;
上官泉元 .
中国专利 :CN217214666U ,2022-08-16