碳化硅晶体生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121880828.2

申请日：

2021-08-12

公开(公告)号：

CN215593238U

公开(公告)日：

2022-01-21

发明(设计)人：

洪棋典张洁廖弘基杨树

申请人：

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

IPC主分类号：

C30B2300

IPC分类号：

C30B2936

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

严诚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶体生长装置 [P].

杨树 ;

张洁 .

中国专利 :CN221071723U ,2024-06-04

[2]

碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

朱卫祥 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10

[3]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[4]

碳化硅晶体生长装置 [P].

薛卫明 ;

马远 ;

潘尧波 .

中国专利 :CN217757758U ,2022-11-08

[5]

碳化硅晶体生长用石墨组件及碳化硅晶体生长装置 [P].

钱昊 ;

梁刚强 ;

苏奕霖 ;

李强 ;

杨倩倩 .

中国专利 :CN220433065U ,2024-02-02

[6]

碳化硅晶体生长装置及系统 [P].

周荣国 ;

邹路 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN218089882U ,2022-12-20

[7]

一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备 [P].

汪良 ;

张洁 .

中国专利 :CN215668293U ,2022-01-28

[8]

碳化硅晶体生长装置 [P].

秦皓然 ;

张洁 .

中国专利 :CN220812699U ,2024-04-19

[9]

碳化硅晶体生长装置 [P].

李远田 ;

陈俊宏 ;

吴亚娟 .

中国专利 :CN217149391U ,2022-08-09

[10]

碳化硅晶体生长装置 [P].

燕靖 .

中国专利 :CN118704083A ,2024-09-27

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