压电薄膜器件和压电薄膜装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201180013990.7
申请日
2011-03-24
公开(公告)号
CN102804436A
公开(公告)日
2012-11-28
发明(设计)人
柴田宪治 末永和史 渡边和俊 野本明 堀切文正
申请人
申请人地址
日本国东京都
IPC主分类号
H01L4118
IPC分类号
C04B3500 C23C1408 H01L4108 H01L4109 H01L4122 H01L4124
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;李茂家
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
压电薄膜元件及压电薄膜装置 [P]. 
柴田宪治 ;
末永和史 ;
野本明 ;
渡边和俊 .
中国专利 :CN102097582B ,2011-06-15
[2]
压电薄膜元件以及压电薄膜设备 [P]. 
柴田宪治 ;
末永和史 ;
野本明 ;
渡边和俊 .
中国专利 :CN102157678A ,2011-08-17
[3]
压电薄膜、压电薄膜元件和压电转换器 [P]. 
森下纯平 .
中国专利 :CN113451501A ,2021-09-28
[4]
压电薄膜、压电薄膜元件和压电转换器 [P]. 
森下纯平 .
日本专利 :CN113451501B ,2024-06-14
[5]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 ;
佐藤祐介 .
日本专利 :CN119451541A ,2025-02-14
[6]
制造压电薄膜器件的方法和压电薄膜器件 [P]. 
长尾圭吾 ;
国泽哲郎 ;
山田哲夫 .
中国专利 :CN100546178C ,2007-01-10
[7]
压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器和压电传感器 [P]. 
森下纯平 .
中国专利 :CN111435699A ,2020-07-21
[8]
压电薄膜元件及其制造方法、以及压电薄膜设备 [P]. 
柴田宪治 ;
佐藤秀树 ;
末永和史 ;
野本明 .
中国专利 :CN101950790A ,2011-01-19
[9]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 .
日本专利 :CN115050888B ,2025-06-06
[10]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 .
中国专利 :CN115050888A ,2022-09-13