一种腔室气流控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220710291.X

申请日：

2012-12-20

公开(公告)号：

CN203002142U

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

张明徐俊成马嘉

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

IPC主分类号：

B01D4646

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-19	授权	授权
2015-01-21	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709838653 IPC(主分类):B01D 46/46 专利号:ZL201220710291X 申请日:20121220 授权公告日:20130619 放弃生效日:20150121

共 50 条

[1]

一种腔室气流控制系统及方法 [P].

张明 ;

徐俊成 ;

马嘉 .

中国专利 :CN103041660A ,2013-04-17

[2]

一种用于CMP多腔室的气压控制系统 [P].

张辉 ;

门延武 ;

王同庆 ;

路新春 ;

叶佩青 .

中国专利 :CN102133733B ,2012-10-10

[3]

一种手术室气流控制系统 [P].

危勇华 .

中国专利 :CN214332942U ,2021-10-01

[4]

腔室气流控制系统及方法 [P].

叶国梁 ;

刘开欣 ;

谢楚盛 .

中国专利 :CN105135603A ,2015-12-09

[5]

气流控制系统 [P].

于凤雷 ;

吴凌辉 ;

张伟 .

中国专利 :CN200953093Y ,2007-09-26

[6]

传输腔室压力控制系统及方法 [P].

刘畅 .

中国专利 :CN101470447A ,2009-07-01

[7]

一种腔室压力控制方法、装置及控制系统 [P].

张京华 ;

刘畅 .

中国专利 :CN101727111A ,2010-06-09

[8]

反应腔室的压力控制系统及压力控制方法 [P].

孙朋涛 ;

耿丹 ;

桂晓波 ;

郑建宇 ;

李补忠 .

中国专利 :CN110538620B ,2019-12-06

[9]

一种辅助喷嘴喷射气流控制系统 [P].

周玉峰 ;

祝章琛 .

中国专利 :CN205024393U ,2016-02-10

[10]

一种电子内窥镜气流压力控制系统 [P].

王华林 ;

陈尧松 .

中国专利 :CN2922782Y ,2007-07-18

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