一种用于CMP多腔室的气压控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110002128.8

申请日：

2011-01-06

公开(公告)号：

CN102133733B

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

张辉门延武王同庆路新春叶佩青

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

朱琨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101104508577 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2011100021288 申请日:20110106
2012-10-10	授权	授权
2018-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20110106 授权公告日:20121010 终止日期:20180106

共 50 条

[1]

一种用于CMP抛光头多区的气压控制系统 [P].

张辉 ;

门延武 ;

王同庆 ;

路新春 ;

叶佩青 .

中国专利 :CN102133730B ,2011-07-27

[2]

一种用于CMP抛光头的压力控制系统 [P].

张辉 ;

门延武 ;

王同庆 ;

路新春 ;

叶佩青 .

中国专利 :CN102133729A ,2011-07-27

[3]

一种用于CMP抛光头多腔室的压力控制系统 [P].

张辉 ;

门延武 ;

王同庆 ;

路新春 ;

叶佩青 .

中国专利 :CN102133731B ,2011-07-27

[4]

一种腔室气流控制系统 [P].

张明 ;

徐俊成 ;

马嘉 .

中国专利 :CN203002142U ,2013-06-19

[5]

一种腔室气流控制系统及方法 [P].

张明 ;

徐俊成 ;

马嘉 .

中国专利 :CN103041660A ,2013-04-17

[6]

一种多级容腔的气压伺服控制系统 [P].

杨钢 ;

李宝仁 ;

杜经民 ;

傅晓云 ;

谭路 ;

高隆隆 ;

高磊 .

中国专利 :CN105302173A ,2016-02-03

[7]

一种体外冲击波设备中手枪气压控制系统及控制方法 [P].

何永正 ;

张杰 ;

杜瑞仙 ;

徐昆仑 .

中国专利 :CN109171885A ,2019-01-11

[8]

一种用于工业空气压缩系统的节能控制系统 [P].

陈建萍 ;

吴玲倩 .

中国专利 :CN209025822U ,2019-06-25

[9]

一种用于CMP抛光头的气路正压通路系统 [P].

张辉 ;

门延武 ;

王同庆 ;

路新春 ;

叶佩青 .

中国专利 :CN102133732B ,2011-07-27

[10]

一种气压自动控制系统 [P].

吴浩 ;

郭建强 ;

王军 ;

卢建阳 .

中国专利 :CN212749638U ,2021-03-19

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