一种防止硅片过刻的刻蚀槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821840789.1

申请日：

2018-11-08

公开(公告)号：

CN209056516U

公开(公告)日：

2019-07-02

发明(设计)人：

王涛张元秋张鹏洪布双

申请人：

申请人地址：

610200 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

邹敏菲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种防止硅片过刻的刻蚀槽 [P].

宁利军 .

中国专利 :CN213388902U ,2021-06-08

[2]

一种防止电池片过刻的硅片保护结构 [P].

杨斌 ;

李艳 ;

何美玲 .

中国专利 :CN202473944U ,2012-10-03

[3]

一种刻蚀槽 [P].

曹为龙 ;

张建峰 ;

朱元 ;

王森 .

中国专利 :CN209785967U ,2019-12-13

[4]

一种刻蚀槽 [P].

朱纹哲 ;

何安康 ;

闫鹏飞 ;

费正洪 .

中国专利 :CN209000882U ,2019-06-18

[5]

一种刻蚀槽的盖板 [P].

杨健 ;

党继东 .

中国专利 :CN207458978U ,2018-06-05

[6]

一种硅片刻蚀传动结构 [P].

李邦勇 ;

党继东 .

中国专利 :CN207458979U ,2018-06-05

[7]

一种刻蚀槽用滚轮及刻蚀设备 [P].

赵赞良 ;

张冬冬 ;

仲志海 ;

王肖肖 ;

安艳龙 .

中国专利 :CN215771066U ,2022-02-08

[8]

一种多晶硅片制绒刻蚀槽 [P].

杨飞飞 ;

焦朋府 ;

赵彩霞 ;

郭卫 ;

张雁东 ;

张波 ;

梁玲 .

中国专利 :CN209150138U ,2019-07-23

[9]

一种硅片脱胶槽 [P].

黄雄华 .

中国专利 :CN203325848U ,2013-12-04

[10]

一种刻蚀装置 [P].

陈曙鑫 ;

蒋富辉 ;

叶文兰 ;

郭德明 .

中国专利 :CN223079076U ,2025-07-08

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