一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011141480.5

申请日：

2020-10-22

公开(公告)号：

CN112366153A

公开(公告)日：

2021-02-12

发明(设计)人：

李健儿李学良马晓洁唐毅谢雷敬毅

申请人：

申请人地址：

629200 四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21329

代理机构：

成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217

代理人：

杨洪婷

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20210212
2021-02-12	公开	公开
2021-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201022

共 50 条

[1]

一种晶圆片擦粉机及其擦粉机构 [P].

李健儿 ;

李学良 ;

马晓洁 ;

唐毅 ;

谢雷 ;

敬毅 .

中国专利 :CN213459660U ,2021-06-15

[2]

一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机 [P].

李健儿 ;

李学良 ;

马晓洁 ;

唐毅 ;

谢雷 ;

敬毅 .

中国专利 :CN112466779A ,2021-03-09

[3]

一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机 [P].

李健儿 ;

李学良 ;

马晓洁 ;

唐毅 ;

谢雷 ;

敬毅 .

中国专利 :CN213459659U ,2021-06-15

[4]

一种双工位擦粉机的擦粉定位装置 [P].

陈永军 ;

杨波 .

中国专利 :CN202405220U ,2012-08-29

[5]

一种定位擦粉机 [P].

何年宏 ;

胡新红 ;

池昌明 ;

黄华 .

中国专利 :CN201374301Y ,2009-12-30

[6]

一种定位擦粉机 [P].

何年宏 ;

胡新红 ;

池昌明 ;

黄华 .

中国专利 :CN101521132A ,2009-09-02

[7]

一种晶圆片铲片机构 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN212967661U ,2021-04-13

[8]

晶圆片铲片机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN210040154U ,2020-02-07

[9]

一种晶圆片压平机构 [P].

廖大军 ;

蔡盘峰 .

中国专利 :CN220821487U ,2024-04-19

[10]

一种晶圆片承载机构 [P].

龙清海 .

中国专利 :CN222507565U ,2025-02-18

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